ფოტოლითოგრაფია არის პროცესი, რომელიც გამოიყენება მიკროფაბრიკაში გეომეტრიული ნიმუშების გადასატანად ფილმზე ან სუბსტრატზე. გეომეტრიული ფორმები და ნიმუშები ნახევარგამტარზე ქმნიან რთულ სტრუქტურებს, რომლებიც საშუალებას აძლევს დოპანტებს, ელექტრულ თვისებებს და სადენებს დაასრულონ წრე და შეასრულონ ტექნოლოგიური მიზანი.
რა არის ფოტოლითოგრაფიის პროცესი?
ფოტოლითოგრაფია, რომელსაც ასევე უწოდებენ ოპტიკურ ლითოგრაფიას ან ულტრაიისფერი ლითოგრაფიას, არის პროცესი, რომელიც გამოიყენება მიკროფაბრიკაციისას თხელ ფენაზე ან სუბსტრატის უმეტეს ნაწილზე (ასევე წოდებული ვაფლის) ნაწილების ნიმუშისთვის.. … რთულ ინტეგრირებულ სქემებში, CMOS ვაფლმა შეიძლება გაიაროს ფოტოლითოგრაფიული ციკლი 50-ჯერ.
რა არის მიკროფაბრიკაციის პროცესი?
მიკროფაბრიკაცია არის მიკრომეტრიანი მასშტაბების და უფრო მცირე მინიატურული სტრუქტურების დამზადების პროცესი. … მიკროფაბრიკაციის ძირითადი ცნებები და პრინციპებია მიკროლითოგრაფია, დოპინგი, თხელი ფენები, გრავირება, შემაკავშირებელი და გაპრიალება.
რა არის ლითოგრაფიის პროცესი ნახევარგამტარებში?
ნახევარგამტარული ლითოგრაფიული სისტემა ახორციელებს პროცესს, რომლის დროსაც უაღრესად რთული მიკროსქემის ნიმუშები, რომლებიც შედგენილია დიდი შუშის ფირფიტისგან დამზადებულ ფოტო ნიღაბზე, მცირდება ულტრა მაღალი ხარისხის ლინზების გამოყენებით და ექვემდებარება სილიკონის სუბსტრატს, რომელიც ცნობილია როგორც.ვაფლი. …
რა არის ლითოგრაფია დამზადების პროცესში?
ლითოგრაფია არისგეომეტრიული ფორმების ნიღბში გადატანის პროცესი რადიაციისადმი მგრძნობიარე მასალის თხელ ფენაზე (ე.წ. წინააღმდეგობა), რომელიც ფარავს ნახევარგამტარული ვაფლის ზედაპირს. ნახაზი 5.1 სქემატურად ასახავს ლითოგრაფიულ პროცესს, რომელიც გამოიყენება IC დამზადებისას.
