ნახევარგამტარული ლითოგრაფიის შემთხვევაში (ასევე უწოდებენ ფოტოლითოგრაფიას) ჩვენი ქვები არის სილიკონი ვაფლი და ჩვენი ნიმუშები დაწერილია სინათლის მგრძნობიარე პოლიმერით, რომელსაც ეწოდება ფოტორეზისტი.
რას გულისხმობ ფოტოლითოგრაფიაში?
ფოტოლითოგრაფია, რომელსაც ასევე უწოდებენ ოპტიკურ ლითოგრაფიას ან UV ლითოგრაფიას, არის პროცესი, რომელიც გამოიყენება მიკროფაბრიკაში თხელ ფენაზე ან სუბსტრატის უმეტეს ნაწილზე (ასევე უწოდებენ ვაფლს) ნაწილების ნიმუშისთვის.. … ამ მეთოდს შეუძლია შექმნას უკიდურესად პატარა შაბლონები, ზომით რამდენიმე ათეულ ნანომეტრამდე.
რატომ გამოიყენება ლითოგრაფია ნახევარგამტარების წარმოებაში?
ფოტოლითოგრაფია არის პროცესი, რომელიც გამოიყენება მიკროფაბრიკაციაში, გეომეტრიული ნიმუშების გადასატანად ფილმზე ან სუბსტრატზე. გეომეტრიული ფორმები და ნიმუშები ნახევარგამტარზე ქმნიან რთულ სტრუქტურებს, რომლებიც საშუალებას აძლევს დოპანტებს, ელექტრულ თვისებებს და სადენებს დაასრულონ წრე და შეასრულონ ტექნოლოგიური მიზანი.
რა არის ფოტოლითოგრაფია?
ფოტოლითოგრაფია არის მიკროფაბრიკაციის ერთ-ერთი ყველაზე მნიშვნელოვანი და მარტივი მეთოდი და გამოიყენება მასალაში დეტალური ნიმუშების შესაქმნელად. ამ მეთოდით, ფორმის ან ნიმუშის ამოკვეთა შესაძლებელია სინათლის მგრძნობიარე პოლიმერის შერჩევითი ზემოქმედებით ულტრაიისფერ შუქზე.
რა არის ნახევარგამტარული ლითოგრაფიული მოწყობილობა?
ნახევარგამტარული ლითოგრაფიული მოწყობილობა გამოიყენება ნახევარგამტარული ჩიპის ექსპოზიციის ფაზაშიწარმოების პროცესი. … ნახევარგამტარული ლითოგრაფიის მოწყობილობა იყენებს პროექციურ ლინზს მიკროსქემის შესამცირებლად, რომელიც დაწერილია თავდაპირველ ფირფიტაზე, რომელსაც ეწოდება რეტიკული, და ასახავს შაბლონს ვაფლზე.
